全自動氦質譜檢漏儀型是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動氦質譜檢漏儀。主要配置采用檢漏儀定制產品。設備內芯的制造借鑒*技術，整機設置合理、性能穩定。具有靈敏度高，反應快，開機時間短等特點。檢漏效果達到*水平。
全自動氦質譜檢漏儀主要技術指標
1、真空模式小可檢漏率：5×10 -13Pa•m3 /s（5×10 -12mbal/s）
真空模式漏率顯示范圍：1×10 -1—1×10 -13Pa•m3 /s
2、吸槍模式小可檢漏率：5×10 -9Pa•m3 /s（5×10 -8mbal/s）
吸槍模式漏率顯示范圍：1×10 -1—1×10 -10Pa•m3 /s
3、啟動時間：≤3min
4、響應時間：≤0.5s
5、檢漏口的壓力：1500Pa
6、電源要求：220v，50Hz，單相，10A
7、工作環境：5-35℃
9、相對濕度：≤80%
9、外形尺寸：500（W）×400（D）×380（H）
10、重量：W 型 42kg，D 型 22kg
全自動氦質譜檢漏儀主要配置
1、德國普發檢漏儀分子泵（*）
2、W 為油式機械泵，D 為干式機械泵
3、定制檢漏儀電磁閥
4、閥體
5、原裝晶圓放大器
6、采用質譜模塊
7、液晶觸摸彩屏
8、雙燈絲（氧化釔金絲），自動調氦峰，自動切換
